Y10T169 伯克利 基于硅基MEMS的OCS（收录在OFC2024年PPT汇编中）加州大学伯克利分校的这个技术与团队创立了一个公司，叫nEys，主要做硅基MEMS的低损耗光开关OCS。他家的投资有来自谷歌、英伟达、微软等大客户的。- Y10T17 谷歌TPU用到的DSOI结构MEMS
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nEye的这个光开关是基于硅基双层波导的结构，并通过MEMS进行光路控制。MEMS悬梁上有一组桥接波导，用于转向，是通过多晶硅设计的波导结构。nEye的结构与谷歌结构的差异是，谷歌的MEMS并没有光波导，是通过MEMS旋转来调整光路的“反射”，而nEye则是MEMS携带波导一起下沉。常规状态，MEMS的悬梁结构中的波导是“悬浮”在硅单晶波导的“上方”，二者互不影响。当驱动MEMS的悬梁下沉，则悬浮的顶层波导则与底部波导靠近。光的方向则从直行转了一个“方向”，实现的光路的“开关”或者说是光路的交换。5月13日，《高速信号调制器格式NRZ、PAM4、QPSK以及n-QAM》，可详询18140517646
