中微半导体设备(上海)股份有限公司董事长兼总经理尹志尧在央视财经《对话》节目中公开表示："我们现在已经有能力来做最先进的设备。"
尹志尧透露，2023年12月，中微决定进入大平板设备领域(此前大概有17种工艺设备全部依赖进口)。这种设备重达150吨，长15米宽15米，有两层半楼高。
按照尹志尧的经验，开发这样的设备至少需要3-7年。但中微的精锐团队只用12个月就从一张白纸做出了可运转的设备，不到4个月就达到客户下一代要求，18个月就运到生产线上并通过核准。
尹志尧被称为"中国刻蚀机之父"，在美国深耕数十年，手握几百项专利。这一突破标志着我国在半导体设备领域取得重大进展，为打破国外技术垄断奠定了坚实基础。
半导体设备是芯片制造的关键，长期以来我国在这一领域依赖进口。行业专家指出，中微半导体的突破不仅具有重要的技术意义，也具有重要的战略意义，将有助于提升我国半导体产业的自主可控能力。
此次技术突破，展现了我国在高端装备制造领域的实力，为推动半导体产业发展注入了新的动力。