打破国外垄断：奥松推出ALS1005微流量传感器，填补国内微小液体测量空白

当流体细如发丝，每分钟仅流过几滴液体，传统流量计纷纷失效：浮子式卡滞、涡轮式转不动、超声波式信号淹没在噪声中……
这不是实验室的极端假设，而是半导体涂胶、生物试剂分配、微反应器控制等场景中的日常挑战。

而国内市场上能精准测量微小液体流量的传感器，凤毛麟角。

奥松此前已成功推出多款液体流量计，凭借出色的性能与可靠的品质，赢得了市场上广大客户的一致好评。延续这一技术积淀，ALS1005微流量液体流量传感器专为0.25~5 mL/min的微小流量设计。它依托奥松自主研发的高灵敏度MEMS芯片与24位ADC，采用热对流测量原理，直接感应流体流过微型加热器时上下游产生的温差变化。该温差与流量之间存在精确的函数关系，从而实现对mL级乃至μL级液体流量的高精度测量。

• 重复性：＜±1.0% 满足定量分配的严苛要求；

• 无活动部件：没有叶轮、浮子或膜片，从根本上避免了卡滞、污染和磨损问题，尤其适合长期连续运行或含有微小颗粒的液体。

• 快速响应，实时监测：集成MEMS传感与数字信号处理，响应迅速，支持瞬时流量、累计流量及介质温度同步输出。配备LCD显示屏，无需连接上位机即可直观读取实时流量与温度数据，便于现场调试、巡检与快速故障判断。

• 高承压与良好兼容性：液路最大承压 0.68 MPa，接触液体材质为316不锈钢毛细管，能够安全、稳定、持久地应用于对材料性能要求严苛的领域，适配多种工业介质。

• 低功耗，易于集成：供电 5 VDC，消耗电流＜200 mA，标准 IIC数字输出，便于嵌入式系统快速对接。

市场上同等量程、同等精度的液体流量传感器，并不多见。ALS1005具有高精度、快速响应、无活动部件、抗污染能力强等特点，是半导体精密制造、生物医药、体外诊断等高端领域实现国产替代的优选方案。

半导体精密制造

• 光刻胶涂覆：在晶圆旋涂过程中，光刻胶的供给微流量需进行精确控制。ALS1005实时监测胶液流量，闭环调节泵阀，确保膜厚均匀性，减少缺陷。

• 湿法刻蚀与清洗：刻蚀液、清洗液的微小流量波动会直接影响关键尺寸（CD）均匀性。传感器实时反馈，助力工艺腔体维持稳定流体状态。

• 精密冷却系统：在光刻机、电子束曝光设备中，微量冷却液的流量监测保障热管理精度，避免局部过热导致精度漂移。

  
  

医疗健康与体外诊断

• 体外诊断与即时诊断：在免疫分析、生化分析仪等设备中，样本和试剂的单次加样量通常极其微小，对加样重复性要求极高。ALS1005可实时监测每次加样的实际流量，确保每次加样高度一致，从而提升检测结果的可靠性与稳定性。

• 生物反应器过程控制：哺乳细胞灌流培养过程中，营养液及代谢废液的低流量交换需要长期稳定监测。

• 药物输送系统：微量注射泵、胰岛素泵等设备中，ALS1005可作为闭环反馈元件，防止输注过量或堵塞。

环境监测与低碳技术

• 水质监测布控：在线分析仪中对水样与试剂的定量抽取需高精度控制。ALS1005耐受一定污染物，长期稳定性好，适用于地表水、污水站的无人值守监测。

• 碳捕集与封存：在胺液循环吸收CO₂的工艺中，吸收剂与再生液的微小流量差异可反映吸收效率。传感器可安装于旁路，实时提供流量数据，辅助系统优化。

实验分析与高端仪器

• 色谱/质谱仪进样系统：液相色谱中流动相梯度形成依赖精确的低流量控制。ALS1005可置于泵后检测，校验泵的流量准确性，或用于微流控柱前衍生系统。

• 微流控科研平台：器官芯片、液滴生成等前沿实验中，流体驱动源（注射泵、气压泵）的实际流量易受背压影响。集成ALS1005后可实时标定，提升实验重复性。

• 自动化液体处理工作站：在药物筛选、基因组学等高通量移液场景中，每个通道的微小流量可被独立监测，防止吸头堵塞或管路漏气导致的加液失败。