lch
发布于 2026-04-05 / 0 阅读
0

Nature | 60万器件实现单片集成:全球首款纯固态相干激光雷达

在自动驾驶与机器人感知中,传统的被动成像将机器视野限制在扁平的二维图像中。如何让它们真正看见空间中的移动目标?激光雷达(LiDAR)赋能的主动式四维(4D)成像,正让汽车与机器人超越人类视觉,在强光或黑夜中瞬间看清三维环境与移动目标。产业界一直在试图将具备4D成像功能但庞大昂贵的激光雷达彻底芯片化,为汽车和机器人打造一双微型、廉价、可量产的“4D慧眼

调频连续波(FMCW)体制的相干激光雷达无惧杂散光干扰,还能直接测出目标速度,被认为是实现真4D感知的理想方案。然而,这种复杂的干涉系统真的能单片集成并大规模量产吗?在拥挤的大规模焦平面像素阵列中,如何导光,如何防光电串扰?另外,在缺乏集成环形器的硅光工艺中,是向芯片面积妥协、采用安全的双站收发分离架构,还是直面反射光烧毁风险、挑战极高难度的单站自发自收?

近日,来自瑞士Pointcloud GmbH公司的研究团队成功破解了上述多重技术难题。研究团队依托45 nm硅光集成工艺,研发出超60万个光子器件大规模集成的纯固态FMCW激光雷达焦平面阵列(FPA)芯片,在创纪录的6万像素成像规模下实现单点探测功耗仅46 nJ的商业级真4D点云成像。这标志着激光雷达领域正式迎来FMCW方案的硅光时刻。这项成果以“A large-scale coherent 4D imaging sensor”为题发表于Nature,被Nature应用与物理科学主编评论为令人印象深刻的光电工程领域成就。低功耗、低成本、微型化的真4D成像传感器,正加速走向自动驾驶、机器人和消费电子市场。


单站架构破解双站对准难题

硅光平台中难以实现紧凑的集成光环形器,传统硅光激光雷达多基于收发分离的双站架构。这不仅带来了成倍的芯片面积开销,更造成了严峻的收发光路对准问题和距离依赖盲区,此外相邻像素间的光串扰也严重制约了阵列尺寸扩展。

为此,研究团队大胆地在每个像素内集成了两组光栅耦合器,利用同一组光栅处理发射和回波光脉冲,从物理源头彻底杜绝了光束对准需求。同时,团队在单像素面积内高度集成平衡探测器、跨阻放大器和定向耦合器,实现了有效抑制共模噪声的平衡相干探测。

这种收发一体的单像素单站架构,使得团队成功集成超60万个光子器件,构建了352×176像素的片上FPA阵列,规模达到此前最先进水平的五倍!

片上集成架构示意:(a)单像素块结构总览;(b)单像素中的单站光路;(c)沉积微透镜结构改善单像素出光收光。(来源:https://www.nature.com/articles/s41586-026-10183-6/figures/2


芯片“立交桥”上的6万像素极简光调度

当像素阵列从1万单元跃升至6万单元规模,若采用传统并行波导布线,不仅将引发严重光传输损耗,还会造成芯片面积不得不被波导撑大。如何实现高效低损耗的片上光寻址,成为了超大规模FPA走向实用的核心工程瓶颈。

研究团队设计了两级级联的热光开关树结构:第一级开关网络置于阵列外部,负责将光束宏观导引至512个像素区块;第二级网络则嵌入区块内部,精准导向具体的像素行列。配合每一级开关末端集成的监测光电二极管,实现了自动相位偏移校准。

凭借这种立交桥般的片上光寻址方案,团队通过16个光纤输入通道,将总开关网络插入损耗控制在了4 dB水平。系统不仅实现了高效光寻址,还支持多通道并行工作,单次可同时点亮128个像素。


微透镜助力激光雷达秒变可拓展“单反”

FPA架构本可使能类似图像传感器+可更换镜头的灵活设计;但由于硅光光栅面外发射角固定,芯片出光具有发散角极小和方向倾斜的特点。若直接使用复杂的定制外部组件匹配商用镜头,往往会出现孔径填充不完全,引发像差和边缘暗角,这严重限制了系统视场角与探测距离,更丢失了灵活重配和拓展的可能。

为解决这一问题,团队在芯片后段制造工艺中,在单片表面为每一像素定制沉积了凹面微透镜。这不仅校正了面外发射角,更将光束完美扩束,从而充分匹配了外部成像镜头的孔径。实验证明,只需更换不同焦距镜头,系统的视场角就能完全按需切换,实现对激光雷达的探测平面加镜头的可拓展和可变成像设计

示例点云与实景图:(a)单次采集的办公室场景点云;(b)多次相干平均的远距离建筑点云;(c)附带速度标注的旋转圆盘点云;(d-f)对应的场景照片。(来源:https://www.nature.com/articles/s41586-026-10183-6/figures/3


极致低功耗实现商业级4D成像

传统飞行时间激光雷达在远距离探测时需要微焦(uJ)级别的脉冲能量,在实现高分辨率扫描要求下,激光功率逼近人眼安全标准极限。降低单点探测能耗,成为了功率控制与分辨率权衡的核心。

研究团队采用调频连续波单像素相干混频体制,依托45 nm单片集成工艺,将探测器和放大器直接塞入像素,使信号在无干扰下直接放大,极大抑制了底噪。同时,单站自发自收的光路设计带来了高度的选择性,将自然光、环境光源等进行自然滤除,彻底消除了用高功率脉冲抑制干扰光的需求。

结合4次极低功率(单次11 nJ)的相干平均探测,团队将单点探测能耗拉低至46 nJ,比此前工作降低了整整十倍!在15 fps实时帧率下,系统实现了65 m探测距离;此外在25 mm距离分辨率的物理限制下,基于脉冲峰值频率插值实现了3.9 mm的距离精度和3.0 mm/s的速度精度,全面达到商业级应用标准。

基于硅基光电子学与微纳光学设计的融合创新,这项工作解决了多项关键技术难题,让真4D视觉传感器从技术愿景走向现实应用。凭借微型化、低成本、高性能、可量产、可拓展等优势,FPA激光雷达芯片正式迎来硅光时刻助力自动驾驶和机器人行业开启视力升级!

作者在同期Nature Research Briefing 报道中预测,未来通过引入多层芯片架构以及低非线性材料,系统将有效攻克硅波导横截面受限导致的片上光功率限制,使得探测距离直接跃升至200 m以上。随着片上光源和放大器的进一步集成,兼具更优分辨率和能效的单芯片4D成像即将到来。届时,单芯片4D成像系统将拥有比肩传统相机的集成度,推动传统成像技术迈向真4D时代。

从芯片级微透镜的光场精准调控,到复杂环境下的4D点云相干计算成像,微纳光学与计算成像的交叉融合正在催生下一代视觉革命。

为集中展示相关领域的最新研究进展,推动学术交流和技术创新,《激光与光电子学进展》将于20269月(第63卷第18期)推出微纳计算成像专题,现公开征集相关领域的研究论文和综述,诚挚邀请国内外专家投稿,共同助力微纳计算成像技术的深入发展。征稿类型:研究论文或综述。

点击投稿

征稿方向(包括但不限于)

1、微纳光学元件计算成像

2、超表面多维成像技术(偏振成像、光谱成像、3D成像及其融合等)

3、微纳超分辨成像

4、人工智能赋能超表面设计

5、超表面器件新型应用

6、微纳全光图像处理

科学编辑 戴炜杰

编辑 徐睿

图片
如有光学论文写作/实验笔记经验、绘图工具介绍,或其他优质稿件,欢迎投稿至ioptics@clp.ac.cn
字数控制在2000-3000字为佳,
稿件一经录用,我们将提供具有竞争力的稿酬。
期待你的来稿!

END


由于微信公众号试行乱序推送,您可能没办法准时收到“爱光学”的文章。为了让您第一时间看到“爱光学”的新鲜推送, 请您:
1. 将“爱光学”点亮星标(具体操作见文末)
2. 多给我们点“在看


在看联系更紧密