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发布于 2026-03-24 / 0 阅读
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华中科技大学,用于二维电子器件的宽带隙KBe2BO3F2介电材料!Nature Communication



晶体管缩放需要具有高介电常数和宽带隙的栅极介电材料,以改善栅极控制并抑制漏电流。然而,这两个属性通常呈现出反比关系,因此同时优化这两个特性极具挑战性。近日,华中科技大学翟天佑报道了克服这种权衡的KBe2BO3F2KBBF)介电纳米片的剥离。


本文要点

1) 该材料具有超过8 eV的宽带隙和63的体介电常数,其介电特性在0.62 nm的等效氧化物厚度下产生10-6 A cm-2的低漏电流和15 V的高栅极电压、 预计在6.6 V下可稳定工作10。基于KBBF门控的2D MoS2晶体管显示出60 mV dec--1亚阈值摆动,并且在室温下达到理论极限,且开/关比高达109


2) 此外,KBBF的良好静电可控性使其能够制造短沟道器件和逆变器电路。该研究拓宽了电介质的范围,为低功耗二维电子和集成电路的发展提供了重要机遇。



参考文献

Yongshan Xu et.al High-κ KBe2BO3F2 dielectric material with wide bandgap for two-dimensional electronics Nature Communication 2026

DOI: 10.1038/s41467-026-70711-w

https://doi.org/10.1038/s41467-026-70711-w



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